單頻納米激光干涉儀非線性誤差及其修正方法介紹
介紹了單頻納米激光干涉儀的非線性誤差,分析了各種典型的單頻激光干涉儀非線性誤差修正方法,如Heydemann方法、頻譜分析方法、基于干涉信號(hào)波峰和波谷的方法、基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的NN方法.在基于干涉信號(hào)波峰和波谷的方法的基礎(chǔ)上,提出了一種改良方法(P方法),試驗(yàn)結(jié)果表明,P方法具有運(yùn)算簡(jiǎn)單、誤差修正精度高和抗干擾性能較強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可以在非計(jì)量環(huán)境下用該法對(duì)干涉儀的非線性誤差進(jìn)行修正,實(shí)用價(jià)值較大.
