
在半導(dǎo)體封裝工序中,劃片機(jī)是 “拆分芯片的關(guān)鍵工具”—— 傳統(tǒng)單軸劃片機(jī)一次只能完成一種切割,遇到階梯式、倒角等復(fù)雜需求時(shí),效率低還容易出錯(cuò)。
而日本 DISCO 公司推出的雙聯(lián)式劃片機(jī),直接顛覆了這種現(xiàn)狀:雙主軸同時(shí)工作、多軸精準(zhǔn)控制、自帶清洗對準(zhǔn)功能,不僅把劃片效率拉滿,還能應(yīng)對各種復(fù)雜切割場景。今天就帶大家看看這款 “劃片神器” 的過人之處!
一、開發(fā)背景:從 “單功能” 到 “多功能” 的必然突破
DISCO 作為劃片機(jī)領(lǐng)域的老牌玩家,早在 15 年前就開始深耕半導(dǎo)體硅片切割技術(shù)。截至文檔記錄時(shí),它已推出 5 種型號劃片機(jī),占據(jù)日本國內(nèi) 70% 的市場份額,1985 年銷售額就達(dá) 56 億日元(約合人民幣 1.5 億元),實(shí)力可見一斑。
早期劃片機(jī)多是 “單軸單功能”—— 一根主軸裝 1-2 把刀片,切不同材料只能反復(fù)調(diào)整參數(shù),遇到階梯切割、倒角切割等復(fù)雜需求時(shí),需要多次操作,效率極低。為解決這個(gè)痛點(diǎn),DISCO 研發(fā)出第三代劃片機(jī) ——DFD-3D/8 型雙聯(lián)式劃片機(jī),新增自動識別、自動傳送、實(shí)時(shí)清洗等功能,從根本上改變了劃片工藝,成了半導(dǎo)體工廠的 “香餑餑”。
二、核心創(chuàng)新:雙聯(lián)式設(shè)計(jì),能做單軸機(jī)做不到的事
雙聯(lián)式劃片機(jī)的核心優(yōu)勢,全在 “雙主軸 + 多軸控制” 的設(shè)計(jì)上,具體能實(shí)現(xiàn) 4 種特殊切割,單軸機(jī)根本望塵莫及:
階梯式劃片:同時(shí)切割不同深度,比如硅片上層切淺、下層切深,不用分兩次操作;
倒角劃片:把 “V 形倒角” 和 “劃片” 兩個(gè)動作合二為一,減少工序,避免多次定位誤差;
復(fù)合進(jìn)給劃片:像鐵氧體這類材料,需要二次進(jìn)給切割,雙聯(lián)式主軸能精準(zhǔn)控制進(jìn)給量,保證切割質(zhì)量;
潔凈切割:劃片的同時(shí)用高壓水 + 干燥空氣清洗切割槽,避免硅屑?xì)埩粑廴拘酒?/span>
能實(shí)現(xiàn)這些功能,關(guān)鍵在于它的軸系設(shè)計(jì):Y 向有 Y1、Y2 兩軸,Z 向有 Z1、Z2 兩軸,各軸帶獨(dú)立程序控制器,可單獨(dú)驅(qū)動 —— 相當(dāng)于兩個(gè) “獨(dú)立劃片單元” 集成在一臺機(jī)器上,既能同步工作,又能各自調(diào)整參數(shù),效率直接翻倍。
三、結(jié)構(gòu)亮點(diǎn):穩(wěn)定、精準(zhǔn)、抗磨損,細(xì)節(jié)拉滿
一款劃片機(jī)好不好用,關(guān)鍵看 “硬件底子”,DISCO 在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上處處是細(xì)節(jié):
X 軸:平穩(wěn)無振動
用空氣軸承或滾珠直線導(dǎo)軌,滑動阻力極小;AC 伺服電機(jī) + 精密滾珠絲杠驅(qū)動,切割速度無級調(diào)速,還專門做了防振動設(shè)計(jì),保證工作臺穩(wěn)定,避免切割偏移。
Y 軸:高精度閉環(huán)控制
用高精度導(dǎo)軌 + 空氣軸承,裝配時(shí)有預(yù)緊力,剛性極強(qiáng);搭配玻璃規(guī)尺反饋信號,實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,進(jìn)給精度拉滿,定位誤差極小。
Z 軸(主軸):高速耐用
Z1、Z2 主軸用高頻電機(jī)空氣主軸驅(qū)動,輸出功率高達(dá) 2.2KW,能高速切割;搭配標(biāo)準(zhǔn)金剛石刀片,壽命長、切割質(zhì)量高,還能用有限單元法優(yōu)化設(shè)計(jì),保證長期穩(wěn)定。
輔助機(jī)構(gòu):自動化拉滿
傳送:兩只機(jī)械手分工,潔凈吸頭和非潔凈吸頭分開用,避免芯片污染;片盒帶升降 + 推拉裝置,能精準(zhǔn)放回原位置;
清洗:3 只噴咀分別通高壓水、干燥空氣、沖洗液,參數(shù)可設(shè)定,實(shí)時(shí)清潔;
對準(zhǔn):顯微鏡帶自動調(diào)光、雙光路轉(zhuǎn)換(微觀 / 宏觀),對準(zhǔn)又快又準(zhǔn),新手也能操作。
咨詢:135 2207 9385
四、使用優(yōu)勢:系列化、易操作、適配性強(qiáng)
除了技術(shù)硬,這款劃片機(jī)還特別 “懂用戶”,有 3 個(gè)使用上的優(yōu)勢:
系列化可選:分半自動(DAD-3D/8、DAD-3S/8)和全自動(DFD-3D/8、DFD-3S/8),可按工廠需求組裝,直線式或平面式排列都支持;
軟件友好:不用記復(fù)雜參數(shù),按 CRT 屏幕提示選擇即可;支持與終端計(jì)算機(jī)聯(lián)動,還能自定義切割模式(比如復(fù)式進(jìn)給),故障時(shí)能快速排查;
適配性廣:不僅能切半導(dǎo)體硅片,還能切玻璃、陶瓷、鐵氧體等新材料,從消費(fèi)電子到工業(yè)芯片,各種場景都能覆蓋。